1.鼓励企业实施自动化、智能化改造，按照设备或软件投入，最高奖励1000万元；鼓励引进智能制造龙头企业，经营用房租金扶持每年不超过500万元，经济发展奖励每年最高500万元。

2.对智能装备制造企业主营业务收入达到2亿元的，最高奖励100万元；对外并购科技型企业的、并购高端品牌的，补助最高1000万元；对实施绿色发展、清洁生产的企业进行奖励，最高500万元。

3.鼓励制造业企业创新，新获得省级和国家级技术创新示范企业或制造业创新中心的，最高奖励200万元；支持企业争创智能制造试点示范企业、单项冠军企业，最高奖励200万元。

4.对获得省级和国家级质量奖等工业品牌的，最高奖励300万元；对首次入选“山东省100强”、省电子信息行业优秀企业等荣誉称号的，最高奖励1000万元。

5.支持优质中小企业、高新技术企业快速成长，按企业研发费用比例，最高奖励1000万元；属于开发区鼓励发展的，最高奖励1000万元。

此外，对主营业务收入超5亿元且较上年增长5%以上的企业，最高奖励2000万元；对核心骨干企业带动配套企业入区，或将税收沉淀在区内的，最高奖励3000万元。